Home Kennisbank Weerstandsthermometers 4. Meetweerstanden op keramische dragers

Kennisbank

4. Meetweerstanden op keramische dragers

Temperatuurbereik van -70°C tot +500°C, speciale types van -196°C tot +500°C.
De voor de temperatuurmeting relevante Platina laag wordt telkens volgens één van de drie volgende procedures aangebracht:

  • Zeefdruk
  • Opdampen
  • Sputteren

Bij alle drie de procedures kan het structureren van de weerstand plaatsvinden met de laser. Bij de eerste procedure kan de weerstand ook direct worden gedrukt. Bij de dunne-filmtechniek wordt tegenwoordig het structureren van de weerstand, zoals bekend uit de halfgeleidertechniek, door fotolithografie en sputteretsen uitgevoerd. De fijne justering vindt altijd plaats met een laser. Hiervoor worden bij de vervaardiging zogenaamde trim-trajecten van verschillende lengte (en dus verschillende weerstand) in de meander geproduceerd die nu naar behoefte door onderbreking van de hoofd geleiderbaan worden geactiveerd.

Ill.  Platfilm meetweerstanden

Ill. Platfilm meetweerstanden

Ill.: Opbouwlaag meetweerstand

Ill.: Opbouwlaag meetweerstand

Het meandervlak is afgedekt met opgesmolten glas. Deze weerstanden zijn onder normalen inbouw omstandigheden trilling vast. De hysterese van deze weerstanden gedraagt zich ongeveer net als bij de glastypes. Platfilm-meetweerstanden zijn slechts enkele millimeters groot, de goedkoopste van alle meetweerstanden en bieden zeer goede meetresultaten.